公司自主研制的0.1微米級(jí)精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及集成控制系統(tǒng)是微電子制造和測(cè)試設(shè)備的核心部件，也是生物醫(yī)療設(shè)備和精密制造業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵部件，這些產(chǎn)品在以上領(lǐng)域的應(yīng)用可以極大提高我國(guó)的制造水平，縮小和先進(jìn)國(guó)家的差距。
此類平臺(tái)是以下行業(yè)的關(guān)鍵部件：
　　◇半導(dǎo)體、集成電路封裝測(cè)試裝備
　　◇生物工程科研設(shè)備
　　◇醫(yī)療診斷儀器設(shè)備
　　◇精密微型制造機(jī)械（MEMS）
高精度空氣軸承（Air Bearing）平臺(tái)性能指標(biāo)
　　◇分辨率: 10 nm (納米)
　　◇重復(fù)性精度 : 50 nm
　　◇定位精度: 0.1 micron（微米）
　　◇最大加速度 :
　　◇最大速度: 500 mm/sec（毫米/秒）
　　◇設(shè)計(jì)行程:
高精度、高動(dòng)態(tài)直線軸承平臺(tái)(Cross Roller)性能指標(biāo)
　　◇分辨率 : 50 nm (納米)
　　◇重復(fù)性精度 : 250 nm
　　◇定位精度 : 1 micron（微米）
　　◇最大加速度 : 16 Gs（重力加速度）
　　◇最大速度 : 2000 mm/sec（毫米/秒）
　　◇行程 : <= 100x100 mm^2，因設(shè)計(jì)要求不同而可以定制