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          X、Y、Z軸壓電陶瓷掃描臺-納動納米
          產品型號:PK3L140-100U
          產品代碼:
          產品價格:1000
          計量單位:021-54668263
          折 扣 率: 0
          最后更新:2022-04-29
          關 注 度:2015
          生產企業:上海納動納米位移技術有限公司
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          產品詳細介紹產品描述
          PK3L140-100U為高動態掃描產品,專為大承載動態應用設計的,外形設計為超薄型,緊湊的尺寸便于安裝在顯微鏡下,可與電動微米平臺進行配合使用,移動面設計為可以放置樣品、CCD相機、顯微物鏡等,便于用戶微納操作。
          利用精密并聯運動設計通過FEA優化的精密彎曲來確保高剛度和較長的設備壽命,PK3L140-100U位移臺可提供最佳的性能。超高的剛度和動態使用頻率,可實現高精度和快速的閉環響應。
          本產品具有亞納米性能。PK3L140-100U壓電納米臺均可提供閉環反饋(-S)或開環(無反饋)。獨特的位置傳感器并行計量設計可測量位移輸出,直接實現亞納米分辨率,線性誤差低于0.02%的精度和重復性。
          PK3L140-100U壓電平臺可定制轉接板與面包板光學平臺上進行固定。壓電平臺可根據要求提供定制材料和真空制備版本。獨特的固定孔位設置,可對外界沖擊震動及溫度變化不敏感,具有非常高的穩定性能。
          選配功能
          —可定制轉接裝置
          —可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
          —可選配閉環(SGS) 位置反饋系
          —可定制中心孔徑大小
          應用領域
          —原子力/掃描顯微鏡
          —超分辨率顯微鏡
          —掩模、晶圓定位
          —干涉測量、測量技術
          —二維材料微納加工技術
          上海納動納米位移技術有限公司
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